半導体製造工場

排水中のふっ化物イオン濃度の連続測定

導入製品
ATI フッ素イオン濃度計(Q46F型)

ある半導体製造工場で、製品の製造のためにフッ化水素を使用されています。

排水規制のため、排水の際にはふっ化物を8 mg/L以下に減らす必要があります。これまでは、排水をサンプリングして分析センターで測定していました。ATI フッ化物イオン計を導入頂いたことで、排水中のふっ化物イオン濃度を連続測定することができました。排水の分析を依頼することがなくなったため、コストの削減ができました。また、現地で連続して測定するため、排水中のふっ化物濃度が上昇した際にすぐに対処できるようになりました。

ATIフッ化物イオン計は、自動的に流量・圧力を一定にし、また測定液に緩衝液を添加してpH 調整を行うことで、フッ化物イオン濃度を安定して測定します。自動校正機能・フローセルの自動洗浄機能で、メンテナンスの手間を省きます。シンプルな構造で、非常に低コストな自動測定ユニットです。消耗部品が少ないため、ランニングコストが安価で、メンテナンス・部品交換が容易です。

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