比抵抗計、導電率計

 ▶ 製 品 名  

比抵抗計、導電率計

 ▶メーカー  

FOXBORO


―半導体製造装置超純水測定に圧倒的な実績―
FOXBORO社比抵抗/導電率計は、モニター1台で、比抵抗/導電率両方の インライン測定が可能です。 

アプリケーション例

  • 半導体洗浄用超純水の比抵抗管理、導電率管理
  • 製薬用精製水、蒸留水の導電率管理
  • 電力用冷却水の導電率管理etc

FOXBORO社比抵抗/導電率計の特徴

  • 対話形式のため、操作が非常に簡単です。
  • 2本のセンサーでそれぞれ独立に測定し、画面に表示します。
  • パネル操作だけで、いつでもフルスケール・測定単位(比抵抗/導電率)の変更が可能です。
  • 計器操作、設定変更、アラーム・エラー発生等の履歴表示が可能です。
  • アナログ出力、アラーム出力は、それぞれ独立2点です。
  • 871CR型センサーを使用した場合、測定精度はフルスケールに対して±1.06%です。

モニター仕様

1.875CRシリーズ

項目 仕様詳細
表 示 液晶2段表示、比抵抗、導電率,温度
測定レンジ 比抵抗:0-0.1MΩ・cm(最小)
0-20MΩ・cm(最大)
導電率:0-1μS/cm(最小)
0-20mS/cm(最大)
アナログ出力 4~20mADC(2点)
アラーム出力 独立2点、C接点
ケース プラスチックまたは金属ケース

2.873RSシリーズ

項目 仕様詳細
表 示 4桁赤色LED表示、比抵抗,温度
測定レンジ 0-2MΩ・cm(最小)
0-20MΩ・cm(最大)
アナログ出力 4~20mADCまたは0~10VDC(1点または2点)
アラーム出力 独立2点、C接点
ケース プラスチックまたは金属ケース

3.873CCシリーズ

項目 仕様詳細
表 示 4桁赤色LED表示、導電率,温度
測定レンジ 0-1μS/cm(最小)
0-20mS/cm(最大)
アナログ出力 4~20mADCまたは0~10VDC(1点または2点)
アラーム出力 独立2点、C接点
ケース プラスチックまたは金属ケース

センサー仕様

1.871CRシリーズ

項目 仕様詳細
電極材質 チタンまたはモネルまたはグラファイト
取付方法 3/4”ネジ込式、サニタリー式、ボールバルブ式、その他
温度素子 RTD(PT1000Ω、3線式)
センサーケーブル長さ 6m(標準)、最大30m

2.871CCシリーズ

項目 仕様詳細
電極材質 チタンまたはモネルまたはグラファイト
取付方法 3/4”ネジ込式、サニタリー式、ボールバルブ式、その他
温度素子 サーミスタ、またはRTD(PT100Ω、2線式)
センサーケーブル長さ 6m(標準)、最大150m
 PDF  製品カタログ(1628KB)      ダウンロード  
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